高效過濾器檢漏的目的：通過對(duì)潔凈室已安裝好的高效過濾器進(jìn)行檢漏),確認(rèn)高效過濾器的完整性及密封性，從而確保測(cè)試區(qū)域內(nèi)的潔凈室的潔凈度。

延伸：高效過濾器及其安裝如存在缺陷，如過濾器本身有小孔洞或者安裝不嚴(yán)密形成微小裂縫，都會(huì)導(dǎo)致達(dá)不到預(yù)定的凈化效果。因此，高效過濾器安裝或更換后，必須對(duì)過濾器和安裝連接處進(jìn)行檢漏。通過測(cè)試高效過濾器的泄漏量，發(fā)現(xiàn)高效過濾器及其安裝的缺陷所在，以便采取補(bǔ)救措施 。

下面為高效過濾器檢漏步驟介紹

1、測(cè)試之前拆除空調(diào)箱的二級(jí)中效過濾器，將氣溶膠發(fā)生器放置在風(fēng)機(jī)的負(fù)壓段，并將其加熱到400℃。

2、將氣溶膠發(fā)生器的進(jìn)氣口與氮?dú)馄拷油ǎ徛蜷_氮?dú)馄砍隹跍p壓閥，使氮?dú)鈮毫Ρ３衷?.2～0.5Mpa左右，立即會(huì)產(chǎn)生氣溶膠顆粒。

3、穩(wěn)定一段時(shí)間后，在總送風(fēng)管測(cè)風(fēng)速處用氣溶膠光度計(jì)檢測(cè)氣溶膠濃度，即上游濃度值。所測(cè)氣溶膠濃度應(yīng)在10～20ug/L范圍內(nèi)。

4、測(cè)試下游氣溶膠顆粒之前，將氣溶膠濃度參比值設(shè)為上游測(cè)得的濃度值。用氣溶膠光度計(jì)采樣探頭對(duì)高效過濾器及其四周框架掃描檢漏。檢測(cè)時(shí)光度計(jì)探頭離開過濾器表面2～4cm，沿著過濾器內(nèi)邊框來回掃描檢漏，掃描速度3～5cm/s，掃描順序依次為括過濾器整個(gè)斷面、過濾器濾紙與框架之間、框架本身及其它安裝節(jié)點(diǎn)處。

5、檢漏時(shí)應(yīng)有兩人操作，一人在上面用光度計(jì)采樣探頭來回掃描過濾器，另一人在下面觀察光度計(jì)顯示數(shù)值，并做好記錄。

了解更多：如何降低高效過濾器本身的泄漏

包含：鈉焰法、油霧法、DOP 法、粒子計(jì)數(shù)法、熒光法。

2.2.1鈉焰法

該方法在1969年起源于英國(guó)，歐洲部分國(guó)家于20世紀(jì)70~90年代實(shí)行。目前在我國(guó)仍在使用，它的實(shí)驗(yàn)塵源為單分散相氣化鈉鹽霧。鈉焰法是根據(jù)鈉原子被氫氣火焰激發(fā)后發(fā)出波長(zhǎng)為589nm的特征光，光的強(qiáng)度與氣溶膠質(zhì)量濃度成比例的原理，通過檢測(cè)被測(cè)過濾器前后光強(qiáng)度的比值來計(jì)算過濾器效率。鹽水在壓縮空氣的攪動(dòng)下飛濺，經(jīng)干燥形成微小鹽霧并進(jìn)入風(fēng)道。在過濾器前后分別采樣， 含鹽霧氣樣使氫氣火焰的顏色變藍(lán)、亮度增加。以火焰的亮度來判斷空氣的鹽霧濃度，并以此確定過濾器對(duì)鹽霧的過濾效率，主要儀器為光度計(jì)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的鹽霧顆粒平均直徑為0.4μm,但對(duì)國(guó)內(nèi)現(xiàn)有裝置的實(shí)測(cè)結(jié)果為0.5μm。歐洲對(duì)實(shí)際實(shí)驗(yàn)鹽霧顆粒中徑的測(cè)量結(jié)果為該方法的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)有：英國(guó)BS3928-1969,歐洲Eurovent 4/4,中國(guó)GB6165-85。

鈉焰法只能檢測(cè)過濾效率小于5個(gè)9的過濾器，并且不同的鈉焰臺(tái)對(duì)同一系列過濾器的檢測(cè)表明鈉焰臺(tái)的效率測(cè)試結(jié)果往往相差偏大，另外鈉焰法測(cè)試會(huì)對(duì)過濾器造成鈉污染，用此方法進(jìn)行過測(cè)試的被測(cè)卨效過濾器在電子行業(yè)中的應(yīng)用有很大限制。隨著掃描法的普及，歐洲己經(jīng)不再使用鈉焰法，國(guó)內(nèi)有關(guān)部門正在修訂原有的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。

2.2.2油霧法

該方法起源于德國(guó)，中國(guó)和前蘇聯(lián)也實(shí)行。塵源為油霧。以過濾器前后氣樣的濁度差別來判斷過濾器對(duì)油霧顆粒的過濾效率。德國(guó)規(guī)定使用石蠟油，油霧粒徑為0.3-0.5μm國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定油霧平均重量直徑為0.28-0.34μm,對(duì)油的種類未做具體規(guī)定。該方法在徳國(guó)已經(jīng)成為歷史，在國(guó)內(nèi)也只有部分生產(chǎn)濾材的廠家在測(cè)量過濾材料時(shí)使用。相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)有：中國(guó)GB6165-85,德國(guó)DIN24184-1990。

2.2 3 DOP 法

該方法曾經(jīng)是國(guó)際上測(cè)量高效過濾器最常用的方法，于1956年起源于美國(guó)， 曾被許多國(guó)家釆用，但在中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中未被采用。它的實(shí)驗(yàn)塵源為0.3μm單分散相鄰苯二甲酸—辛酯（DOP)液滴，也稱為“熱DOP”。將DOP液體加熱成 蒸汽，蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0.3μm左右的顆粒，進(jìn)入風(fēng)道。測(cè)量過濾器前后氣樣的濁度，并由此判斷過濾器 對(duì)0.3μm粉塵的過濾效率。測(cè)量?jī)x器主要是光散射式光度計(jì)（photometer)。與此對(duì)應(yīng)的‘‘冷DOP”是指Laskin噴嘴（用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，飛濺產(chǎn)生霧態(tài)人工塵）產(chǎn)生的多分散項(xiàng)DOP粉塵，在對(duì)過濾器進(jìn)行掃描測(cè)試時(shí)，人們經(jīng)常使用冷DOP。相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)有：MIL-STD-282-1956。

早期，人們認(rèn)為過濾器對(duì)0.3μm的粉塵最難過濾，因此規(guī)定使用0.3μm粉塵測(cè)量高效過濾器。DOP中含苯環(huán)，人們懷疑它致癌，因此許多實(shí)驗(yàn)室改用性能類似但不合苯環(huán)的替代物，如DOS。

2.2.4粒子計(jì)數(shù)法

該方法在歐洲通用，美國(guó)超高效過濾器測(cè)試也采用比較類似的方法。是目前國(guó)際上的主流測(cè)試方法。塵源為多分散相液滴，或確定粒徑的固體粉塵。有時(shí)， 過濾器廠商要按照用戶的特殊要求，使用大氣粉塵或其他特定粉塵。若測(cè)試中使用的是凝結(jié)核計(jì)數(shù)器，就必須使用粒徑已知的單分散相實(shí)驗(yàn)粉塵。主要測(cè)量?jī)x器為大流量激光粒子計(jì)數(shù)器或凝結(jié)核計(jì)數(shù)器（CNC）。用計(jì)數(shù)器對(duì)過濾器的整個(gè)出風(fēng)面進(jìn)行掃描檢驗(yàn)，計(jì)數(shù)器給出毎點(diǎn)的粉塵的個(gè)數(shù)，還可以比較各點(diǎn)的局部效率》 歐洲的經(jīng)驗(yàn)表明，對(duì)于高效空氣過濾器，最易穿透的粉塵粒徑在0.1μm~0.25μm 之間的某一點(diǎn)，先確定測(cè)試條件最易穿透粉生粒徑，然后連續(xù)掃描測(cè)量過濾器對(duì)該粒徑粉塵的過濾器效果，歐洲將這種方法稱為MPPS法。美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定只測(cè)最 0.l~0.2nm區(qū)間的顆粒。該方法的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)有：歐洲EN1882-1998~2000,美國(guó) IES-RP-CC007.1-1992。

2.2.5熒光法
只有法國(guó)使用目前僅限于對(duì)部分核工業(yè)過濾器的測(cè)試。試驗(yàn)塵源為噴霧器產(chǎn)生的熒光素鈉粉塵。試驗(yàn)中，首先在過濾器前后采樣，然后用水溶解采樣濾紙上的熒光素鈉，再測(cè)景含熒光素鈉水溶液在特定條件下的熒光亮度，這一亮度間接地反映出粉塵的重竜。以過濾器前后樣品的熒光克度差別來判斷過濾器效率發(fā)塵裝置產(chǎn)生的粉塵粒徑的計(jì)數(shù)乎均值為0.08μm粒徑的體積平均值為0.15μm。

本文出處：基于歐洲1822標(biāo)準(zhǔn)的高效空氣過濾器全效率測(cè)試臺(tái)及掃描測(cè)試臺(tái)的研制

隨著電子工業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)電子工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境中的懸浮微粒的控制越來越嚴(yán)格，使得空氣過濾產(chǎn)業(yè)面臨著巨大的機(jī)遇和挑戰(zhàn)。目前國(guó)內(nèi)現(xiàn)行的高效、 超高效過濾器性能測(cè)試國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的鈉焰法、油霧法由于種種缺陷己不能滿足實(shí)際發(fā)展的需要。因此有必要參考相關(guān)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)研制新型高效、超高效空氣過濾器性能檢測(cè)系統(tǒng)，解決國(guó)內(nèi)高效空氣過濾器質(zhì)量檢測(cè)手段落后的現(xiàn)狀。

本檢漏系統(tǒng)以歐洲標(biāo)準(zhǔn)EN1822為綱領(lǐng)，同時(shí)借鑒日本J1SB9908標(biāo)準(zhǔn)及美 國(guó)IEST標(biāo)準(zhǔn)，分別搭建了高效（超高效）過濾器全效率測(cè)試臺(tái)和掃描測(cè)試臺(tái)。整套系統(tǒng)可以測(cè)量高效空氣過濾器的最易穿透粒徑效率和局部效率。鑒于國(guó)外高效過濾器檢測(cè)系統(tǒng)的自動(dòng)化程度比國(guó)內(nèi)要高出一定水平，通過引入步進(jìn)電機(jī)等自動(dòng)化儀器儀表自行開發(fā)了該檢測(cè)臺(tái)的自動(dòng)控制系統(tǒng)和系統(tǒng)控制軟件，使該檢測(cè)臺(tái)自動(dòng)化程度高，功能全面。本檢測(cè)系統(tǒng)在前人工作的基礎(chǔ)上重新設(shè)計(jì)了掃描結(jié)構(gòu)和掃描程序，實(shí)現(xiàn)了掃描臺(tái)的實(shí)用性。

本文重點(diǎn)介紹檢測(cè)臺(tái)的制作，設(shè)備選型，自動(dòng)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。通過新型高效濾器性能檢測(cè)實(shí)驗(yàn)臺(tái)的研制.獲得一些有價(jià)值的數(shù)據(jù)資料。本檢測(cè)系統(tǒng)的建成為國(guó)內(nèi)過濾器生產(chǎn)商提供了一套保證其產(chǎn)品質(zhì)量的有利T工具，對(duì)今后的過濾器自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì).和制造有一定的指導(dǎo)意義。

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文章來源：基于歐洲1822標(biāo)準(zhǔn)的高效空氣過濾器全效率測(cè)試臺(tái)及掃描測(cè)試臺(tái)的研制

高效過濾器檢漏分為出廠檢測(cè)和現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)兩種。

出廠檢測(cè)：即為過濾器廠家在做好的高效過濾器時(shí)對(duì)其進(jìn)行的檢測(cè)，檢測(cè)合格才出廠。

現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)：主要是針對(duì)過濾器的一些出廠數(shù)據(jù)進(jìn)行核實(shí)、檢測(cè)。

高效過濾器檢漏的目的：通過對(duì)潔凈室已安裝好的高效過濾器進(jìn)行PAO檢漏(高效過濾器檢漏PAO的掃描方法),確認(rèn)高效過濾器的完整性及密封性，從而確保測(cè)試區(qū)域內(nèi)的潔凈室的潔凈度。

延伸：高效過濾器及其安裝如存在缺陷，如過濾器本身有小孔洞或者安裝不嚴(yán)密形成微小裂縫，都會(huì)導(dǎo)致達(dá)不到預(yù)定的凈化效果。因此，高效過濾器安裝或更換后，必須對(duì)過濾器和安裝連接處進(jìn)行檢漏。通過測(cè)試高效過濾器的泄漏量，發(fā)現(xiàn)高效過濾器及其安裝的缺陷所在，以便采取補(bǔ)救措施 。

工作原理：在被檢測(cè)高效過濾器上風(fēng)側(cè)發(fā)生PAO氣溶膠作為塵源，在下風(fēng)側(cè)用光度計(jì)采樣檢測(cè)，含塵氣體經(jīng)過光度計(jì)時(shí)產(chǎn)生的散射光經(jīng)光電效應(yīng)和線性放大轉(zhuǎn)換為電量，并由微安表快速顯示，采集到的空氣樣品通過光度計(jì)的擴(kuò)散室，由于粒子擴(kuò)引起燈光強(qiáng)度的差異，經(jīng)測(cè)定這個(gè)光強(qiáng)度，光度計(jì)便可測(cè)得氣溶膠的相對(duì)濃度。PAO檢漏法中測(cè)得的是高效過濾器的穿透率，即光度計(jì)直接顯示穿透率讀數(shù)。

藥廠PAO檢測(cè)產(chǎn)品一般為：液槽高效過濾器、DOP液槽高效送風(fēng)口、DOP液槽FFU、百級(jí)層流傳遞窗等產(chǎn)品。

目前針對(duì)高效過濾器檢漏PAO的檢測(cè)設(shè)備不同，高效過濾器檢漏PAO的掃描方法可以分為兩大類：氣溶膠光度計(jì)掃描（photometer scanning）和顆粒計(jì)數(shù)器掃描（particle counter scanning）。當(dāng)然兩種檢測(cè)設(shè)備也是各有優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)的，本文摘自EN-SIO-14644-3的一些相關(guān)信息。

1、氣溶膠光度計(jì)掃描的缺點(diǎn)：

光度計(jì)的精度較顆粒計(jì)數(shù)器差，所以只能測(cè)試HEPA高效過濾器，ULPA超高效過濾器只能用顆粒計(jì)數(shù)法。

2、氣溶膠光度計(jì)掃描的優(yōu)點(diǎn)：

光度計(jì)使用方便、檢測(cè)結(jié)果易于判斷、對(duì)泄露檢測(cè)比較敏感，所以在現(xiàn)場(chǎng)檢漏中應(yīng)用比較廣泛，藥廠多用此法做現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試。

一般來講在做氣溶膠光度計(jì)掃描法時(shí)，其上游的濃度是做顆粒計(jì)數(shù)器掃描時(shí)的100到1000倍。（摘自：EN-SIO-14644-3-B.6.1.2）

氣溶膠光度計(jì)掃描法（photometer scanning）與顆粒計(jì)數(shù)器掃描法（particle counter scanning）做為高效過濾器檢漏測(cè)試都可行并有相關(guān)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，但測(cè)試結(jié)果沒有直接的可比性。（摘自：EN-SIO-14644-3-B.6.1.1）

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直達(dá)PAO檢漏法介紹：高效過濾器檢漏測(cè)試PAO法

小知識(shí)：為什么要對(duì)高效過濾器現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試？

通常，過濾器通過出廠檢驗(yàn)，由過濾器廠商提供測(cè)試報(bào)告，由此證明過濾器符合客戶現(xiàn)場(chǎng)需求。但是，客戶如何能夠更準(zhǔn)確清晰的了解過濾設(shè)備在現(xiàn)場(chǎng)使用環(huán)境下，依舊能夠保持廠商出廠所作的保證呢？這時(shí)候，就必須要通過對(duì)過濾設(shè)備進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)，以確認(rèn)其能夠達(dá)到用戶需求及供應(yīng)商報(bào)告所顯示的過濾效果。

根據(jù)對(duì)PAO的檢測(cè)設(shè)備不同，高效過濾器檢漏PAO的掃描方法可以分為兩大類：氣溶膠光度計(jì)掃描（photometer scanning）和顆粒計(jì)數(shù)器掃描（particle counter scanning）。

1、使用氣溶膠光度計(jì)掃描（photometer scanning）

便攜式數(shù)字光度計(jì)規(guī)格

大小:25.7 cm × 33.0 cm × 15.2 cm

重量:21.8Kg，其中主機(jī)8.6Kg

電源:100-250V，50/60Hz，0.25 amps @ 240V

自動(dòng)歸零:啟動(dòng)時(shí)自動(dòng)零讀數(shù)

報(bào)警:超過設(shè)置點(diǎn)時(shí)，有聲音、視覺和震動(dòng)報(bào)警

流速控制:寬脈沖調(diào)節(jié)能使流速控制在1cfm (28.3lpm) +/- 10%

氣溶膠設(shè)置:PAO-4, DOP,

動(dòng)態(tài)范圍:最高到600微克/升

靈敏度:讀數(shù)的1%（讀數(shù)在0.01%到100%之間）

重復(fù)性:讀數(shù)的0.5%（讀數(shù)在0.01%到100%之間）

光源:穩(wěn)定的固態(tài)光源

數(shù)據(jù)輸出:USB

報(bào)告:連續(xù)、摘要模式

打印機(jī)附件:熱敏打印機(jī)提供摘要報(bào)告和端口

產(chǎn)品應(yīng)用:潔凈房,層流臺(tái),生物安全柜,手套箱, HEPA吸塵機(jī), HVAC系統(tǒng), HEPA過濾器,負(fù)壓過濾裝置手術(shù)室,核子過濾系統(tǒng),科研。

此法主要是用氣氣溶膠光度計(jì)對(duì)過濾器上游及下游PAO的濃度進(jìn)行測(cè)定，從而確定過濾器是否泄漏。在進(jìn)行測(cè)試時(shí)上游濃度控制在10ug/L-100ug/L之內(nèi)聯(lián)樣控頭距離過濾器不超過25.4mm,掃描速度不能超過50mm/s(EN-ISO-14644-3)。在醫(yī)藥行業(yè)中有同樣的要求，如YY0569-2005生物安全柜。

2、使用顆粒計(jì)數(shù)器掃描（particle counter scanning）

高效過濾器檢漏PAO的掃描方法使用顆粒計(jì)數(shù)器掃描，以顆粒數(shù)來表達(dá)過濾器上下游（個(gè)/m3，個(gè)/ft3），從而計(jì)算高效空氣過濾器的局部效率，判斷過濾器是否泄漏。

主要技術(shù)參數(shù)：

采樣量：2.83L/min

檢測(cè)范圍：100級(jí)～30萬級(jí)

判斷凈化級(jí)別：自動(dòng)判斷凈化級(jí)別

粒徑通道：0.3、0.5、1、3、5、10(μm)，六檔粒徑同時(shí)顯示

采樣周期：1～10(min)

自凈時(shí)間：≤10（min)

公英制換算：有公英制換算

打印功能：內(nèi)置打印機(jī)

工作環(huán)境溫度：10～35℃　　相對(duì)濕度：≤75%RH

連續(xù)工作時(shí)間：8小時(shí)

帶計(jì)數(shù)超限報(bào)警：100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)、300000級(jí)

電源 功耗：AC 220V 50Hz 15w

外形尺寸（寬×高×深）：203×120×250（mm)

重量（kg)：2.6(kg)

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：246組

顯示方式：高清晰大屏幕液晶屏顯示（LCD）

光源及壽命：半導(dǎo)體激光光源＞30000小時(shí)

隨機(jī)附件：說明書、合格證、檢測(cè)報(bào)告、保修卡、等動(dòng)力采樣頭、采樣管、三角架、打印紙、精美鋁箱

具體的測(cè)試方法可以參考EN-ISO-14611-3或IEST-RP-CC034.1。

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直達(dá)PAO檢漏法介紹：高效過濾器檢漏測(cè)試PAO法

高效過濾器的現(xiàn)場(chǎng)檢漏中通常采用PAO，發(fā)生器在過濾器上游發(fā)塵，使用光度計(jì)（photometer）、顆粒計(jì)數(shù)器（particle counter）檢測(cè)上下游氣溶膠濃度來判定過濾器是否泄漏。

PAO發(fā)生器可分為熱發(fā)生和冷發(fā)生兩種：

1、熱發(fā)生器是利用蒸發(fā)冷凝的原理，被霧化的氣溶膠粒子用加熱器蒸發(fā)，并在特定條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0.3um左右的霧狀PAO進(jìn)入風(fēng)道，其MMD（mass median particle diameter）粒徑為0.3左右，但因蒸發(fā)效應(yīng)，其真實(shí)粒徑分布在0.1-0.3um。該方法主要用在過濾器穿透效率測(cè)試（Penetration test）中，如MIL-STD-282。

2、冷發(fā)生器是指利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經(jīng)laskin噴管飛濺產(chǎn)生物態(tài)的多分散相PAO氣溶膠，其MMD（mass median particle diameter）粒徑為0.5-0.7um左右（EN-ISO 14644-3-B.6.2.2）,CMD（count mean diameter）為0.3um左右（IEST-RP-CC021.1）,且粒徑分布較熱發(fā)生器要寬，成正態(tài)分布。該方法主要用在對(duì)過濾器的掃描檢漏（Scan test）。如IEST-PR-CC034.1,EN-ISO-14644-3,EN1822-4（參考：EN 1822對(duì)高效過濾器效率等級(jí)規(guī)定）。

小知識(shí)：為什么要對(duì)高效過濾器現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試？

通常，過濾器通過出廠檢驗(yàn)，由過濾器廠商提供測(cè)試報(bào)告，由此證明過濾器符合客戶現(xiàn)場(chǎng)需求。但是，客戶如何能夠更準(zhǔn)確清晰的了解過濾設(shè)備在現(xiàn)場(chǎng)使用環(huán)境下，依舊能夠保持廠商出廠所作的保證呢？這時(shí)候，就必須要通過對(duì)過濾設(shè)備進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)，以確認(rèn)其能夠達(dá)到用戶需求及供應(yīng)商報(bào)告所顯示的過濾效果。

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