云母片是薄膜沉積、復制及原子力EMS電鏡研究的好產品。EMS電鏡要求基底達到原子級平整，硅片和玻璃表面的起伏很大，因而原子級平整的EMS電鏡耗材云母片具有重要的價值。

　　

　　云母片用于碳支撐膜生產和薄膜鍍覆研究，或用作微粒分散的無特征背景基片，云母還用作EMS電鏡表征樣品的基底。我們用到的都是新剝離表面，不是“原始”表面?？梢缘玫揭粋€干凈的表面。我們所知道的“云母”材料不僅僅是一種普通的物品，也就是說，的云母肯定是不一樣的。云母是一種介電材料，因此，它本身是不帶電的。

　　

　　一般按ASTMD351標準規(guī)定的方法測量，進行標準的品質分類，EMS電鏡耗材云母片的等級分為V-1級到V-5級，EMS電鏡一般用到質量好的V-1或者V-2，而一般薄膜沉積用到的是中等質量的V-4、V-5。對于研究人員不僅要從類型上，而且要從品質上了解他們的差異。

　　

　　EMS電鏡耗材云母片的日常維護注意事項：

　　

　　1、常開機，多使用，這樣就能隨時掌握儀器工作情況，隨時注意觀察圖、光、聲、真空、氣壓、電源的變化情況，及時調節(jié)，作好記錄，時間長了肯定會積累很多經驗。

　　

　　2、注意電壓要穩(wěn)定、氣體要清潔干燥、防止小樣品掉入，尤其是細顆粒，粉末、防止碰撞

　　

　　3、監(jiān)視內的氟里昂是否降低，監(jiān)視里的油是否降低到水平線以下，時常放放氣，裝置內的水要定期更換，保持室內濕度在40~70%，溫度在15~25度。